气体流量的测量不受一般进口压力和温度变化的影响。流量计允许全量程范围内的四点标定以提高线性。
这种流量计通过测量气体通过层流器(LFE)产生的压降来测量气体流量。 因为层流器已经将气流分层,因此无需在流量计上再使用逆流或顺流直管,极大地简化了流量计的安装过程。 同热质量技术相比,LFE设计具有超短的反应时间(10毫秒以内),可直接使用而无需预热等待。
该型控制器已经经过校正适用于空气、氦气(He)和氩气(Ar)
这款流量计具有一个先进的直管式传感器,确保测量结果精确可重现。气体流量的测量不受中等温度和入口压力变化影响。同时还可以在流量测量范围内进行4点校准,提高流量计测量结果的线性度。